Progettazione e sviluppo di dispositivi MEMS

PROAMBIENTE ha esperienza nella realizzazione di prototipi (dai singoli sensori fino a più complessi sistemi integrati), orientati al soddisfacimento di molteplici esigenze nel campo del monitoraggio ambientale.

Per fornire questo servizio, ci avvaliamo dell'esperienza e del know how dei nostri ricercatori, ma anche della infrastruttura presenti nell'istituto IMM-CNR di Bologna in particolare una camera bianca di 500 m2 dove fabbricare e testare componenti innovativi di micro- e nano-fabbricazione.

Tra i dispositivi sviluppati da PROAMBIENTE (in collaborazione con il CNR) caratterizzati da un elevato grado di standardizzazione, si possono citare:

 Sistemi gas-cromatografici palmari (dimensioni 15x15x10 cm3) basati su componentistica MEMS in silicio (pre-concentratore selettivo, colonna di separazione cromatografica impaccata, sensore ad ossidi metallici) per il monitoraggio real-time di bassissime concentrazioni (fino a 0.1ppb) di composti BTEX (Benzene, Toluene, Ethyl-benzene e Xylene) presenti in aria.

 Micro-sorgenti di calibrazione: micro-dispositivi in silicio (dimensioni 7x25x0.3 mm3), in grado di operare un rilascio controllato di composti gassosi altamente volatili (ad es. benzene) attraverso canali di spessore nanometrico. Tali dispositivi sono utilizzati per la calibrazione periodica di sensori di gas e/o di sistemi per analisi chimica e costituiscono una valida alternativa ai tubi a permeazione commerciali.

 Sensori MOX: micro-sensori a bassissimo consumo di potenza, realizzati a livello wafer (più di 4000 sensori sulla superficie da 4"). Tali sensori vengono attualmente utilizzati per la rilevazione di componenti gassose quali CO, NOx e O3.